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　　专精特新中小企业是指实现专业化、精细化、特色化发展，创新能力强、质量效益好的中小企业，是优质中小企业中的骨干力量。此次入选的沈阳新松半导体设备有限公司，专注于技术创新，成功研发出国产机械手，解决了真空环境下晶圆自动化输送的“卡脖子”难题。该产品采用直驱电机，能最大限度减少震动，保障传输过程安全、稳定、可靠。同时，凭借定位精准、传输高效的优势，以及可根据用户需求定制手臂长度和手指形式，这款机械手能胜任不同尺寸规格的晶圆搬运。新松半导体设备公司凭借这一核心技术，打破了国外多年来的垄断，真正实现了自主可控。

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